Distile su, fiziksel buharlaştırma yöntemi ile elde edilirken deiyonize su iyon değişim yöntemiyle arıtılır. Distilasyon işlemi bakterileri ve mikroorganizmaları da uzaklaştırırken, deiyonizasyon daha çok iyonları giderir. Bu nedenle kullanım alanlarına göre tercih değişir.