Deiyonize su yalnızca iyonlardan arındırılmış sudur. Ultra saf su ise iyonların yanı sıra organik bileşenler, bakteriler ve çözünmüş gazlar gibi tüm safsızlıkların minimum seviyeye indirildiği çok daha yüksek kaliteye sahip sudur. Bu nedenle daha hassas uygulamalarda kullanılır.